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In einer Kammer eines Ladungsteilchenstrahlgerätes wird die Probe auf dem Probensubstrat ergriffen und zu dem Probenhalter transportiert und dort die Lage der Probe gesteuert, wenn die Probe auf dem Probenhalter befestigt ist. Dort beherrscht man einen Markiervorgang, der in der Kammer durch einen Strahl eine Markierung auf eine Fläche der Probe Wb, die auf dem Probensubstrat vorhanden ist, aufbringt; einen Transportvorgang, der die Probe durch eine Probengreifeinrichtung ergreift und diese vom Probensubstrat zum Probenhalter transportiert; und einen Lagesteuerungsvorgang, der die Lage der Probe steuert, wenn die Probe am Probenhalter befestigt ist, während die auf der Oberfläche der Probe aufgebrachte Markierung beobachtet wird.
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