Mit geführten akustischen Wellen arbeitendes Bauelement und elektrisches Modul mit dem Bauelement

摘要

Es wird ein mit geführten akustischen Wellen arbeitendes Bauelement mit einem Schichtsystem (10) angegeben, das eine piezoelektrische Schicht (1), eine dielektrische Schicht (2) und zwischen der piezoelektrischen Schicht und der dielektrischen Schicht angeordnete Elektroden (3) aufweist. Das Bauelement umfasst eine Deckschicht (4), die mit dem Schichtsystem (10) mittels einer Adhäsionsschicht (5) verbunden ist.