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发明名称
Gerilltes Polierkissen
摘要
申请公布号
DE102005002167(B4)
申请公布日期
2008.09.18
申请号
DE20051002167
申请日期
2005.01.17
申请人
ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS CMP HOLDINGS INC.
发明人
MULDOWNEY, GREGORY P.
分类号
B24B37/00;B24D13/00;B24B37/04;B24D13/14;H01L21/304
主分类号
B24B37/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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