| 发明名称 |
FORMATION OF COMPOUND THIN FILM AND DEVICE FOR EXECUTING THIS METHOD |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH10130826(A) |
申请公布日期 |
1998.05.19 |
| 申请号 |
JP19960290437 |
申请日期 |
1996.10.31 |
| 申请人 |
JAPAN AVIATION ELECTRON IND LTD |
发明人 |
NISHIMOTO KEIJI;ITO KAZUHIKO;KATAOKA IZUMI |
| 分类号 |
C23C14/32;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/32 |
主分类号 |
C23C14/32 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
