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发明名称
VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG VON EIGENSCHAFTEN VON STRUKTURIERTEN DÜNNFILM-METALLSTRUKTUREN UNTER VERWENDUNG EINES TRANSIENTEN THERMISCHEN ANSPRECHVERHALTENS
摘要
申请公布号
DE60322741(D1)
申请公布日期
2008.09.18
申请号
DE20036022741
申请日期
2003.12.10
申请人
ADVANCED METROLOGY SYSTEMS LLC
发明人
GOSTEIN, MICHAEL;MAZNEV, ALEXEI
分类号
G01B11/06;G01B21/08
主分类号
G01B11/06
代理机构
代理人
主权项
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