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发明名称 Vorrichtung für einen Strahl geladener Teilchen zum Messen eines Abbildungsvergrösserungsfehlers
摘要
申请公布号 DE102005002537(B4) 申请公布日期 2008.09.18
申请号 DE200510002537 申请日期 2005.01.19
申请人 HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORP. 发明人 SATO, MITSUGU;TAKANE, ATSUSHI;ISAKOZAWA, SHIGETO;IIZUMI, TAKASHI;MAEDA, TATSUYA;INADA, HIROMI
分类号 G21K5/00;H01J37/28;G03F7/20;G21K5/04;H01J37/08;H01J37/22;H01J37/256;H01L21/027;H01L21/66 主分类号 G21K5/00
代理机构 代理人
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