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发明名称 CYLINDER, LOAD PORT USING IT AND PRODUCTION SYSTEM
摘要
申请公布号 KR100859199(B1) 申请公布日期 2008.09.18
申请号 KR20010066979 申请日期 2001.10.30
申请人 发明人
分类号 F15B15/24;F16J1/00;F15B15/14;F15B15/26;H01L21/677;H01L21/68 主分类号 F15B15/24
代理机构 代理人
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