发明名称 METHOD OF CUTTING INGOT BY MULTI-CUTTING WIRE SAW
摘要
申请公布号 JPH10340868(A) 申请公布日期 1998.12.22
申请号 JP19970152554 申请日期 1997.06.10
申请人 TOKYO SEIMITSU CO LTD 发明人 NAKAURA KENICHI
分类号 B28D5/04;B28D5/00;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B28D5/04
代理机构 代理人
主权项
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