一种二氧化钒薄膜在玻璃上的低温沉积方法

摘要

本发明利用晶体异质外延生长原理，在不损二氧化钒薄膜质量(热色性)的前提下，为二氧化钒薄膜在玻璃衬底上的沉积提供一种低温制备方法。以玻璃为衬底，依次包括如下步骤：1)玻璃衬底清洗与处理；2)在玻璃衬底上，先沉积一层二氧化硅扩散阻隔层；3)在二氧化硅扩散阻隔层上面再沉积一层氧化锌籽晶层；4)最后再在氧化锌籽晶层上面沉积二氧化钒热色薄膜层。本发明采用的氧化锌籽晶层结晶温度低、晶格常数与二氧化钒能很好匹配，特别适合二氧化钒薄膜的异质外延生长，从而可有效降低二氧化钒薄膜的沉积温度，简化二氧化钒智能玻璃的制备工艺，降低成本，节约能耗，大大降低了二氧化钒智能玻璃产业化过程的难度。

主权项

1.一种二氧化钒薄膜在玻璃上的低温沉积方法，以玻璃为衬底，其特征在于依次包括如下步骤：1)玻璃衬底清洗与处理；2)在玻璃衬底上，先沉积一层二氧化硅扩散阻隔层；3)在二氧化硅扩散阻隔层上面再沉积一层氧化锌籽晶层；4)最后再在氧化锌籽晶层上面沉积二氧化钒热色薄膜层。