| 发明名称 | 用于提高半导体成品率的测试单元 | ||
| 摘要 | 一种用于定位缺陷的测试单元(100)，包括第一有源区(110)、基本上平行于第一有源区的第二有源区(120)、基本上平行于第一和第二有源区的第三有源区(130)、在第一和第二有源区之间形成的第四有源区(115)，以及在第二和第三有源区之间形成的第五有源区(125)。第四和第五有源区是在第二有源区的相对的端部分的附近形成的。第四和第五有源区还基本上垂直于第二有源区。 | ||
| 申请公布号 | CN101268541A | 申请公布日期 | 2008.09.17 |
| 申请号 | CN200580051313.9 | 申请日期 | 2005.06.16 |
| 申请人 | PDF全解公司 | 发明人 | 布莱恩·斯蒂尼;维克特·基齐;马克·茨沃尔德;斯特凡诺·托奈罗 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);H01L21/66(2006.01);H01L23/58(2006.01);G11C29/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 李向英 |
| 主权项 | 1.一种用于定位缺陷的测试单元，包括：第一有源区；基本上平行于所述第一有源区的第二有源区；基本上平行于所述第一和第二有源区的第三有源区；在所述第一和第二有源区之间形成的第四有源区；以及在所述第二和第三有源区之间形成的第五有源区，其中，所述第四和第五有源区是在所述第二有源区的相对的端部分的附近形成的，并且其中，所述第四和第五有源区基本上垂直于所述第二有源区。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚 | ||