| 发明名称 | 压力传感器膜片及其制造方法 | ||
| 摘要 | 一种制造压力传感器膜片的方法。在第一基底的第一表面蚀刻出一条或多条沟槽。所述沟槽被变成具有抗蚀刻性。然后在第一基底地相反的第二表面形成空腔，从而限定由框架支撑的膜片，所述膜片具有一个或多个用来加强隔膜的中空凸台。 | ||
| 申请公布号 | CN101264859A | 申请公布日期 | 2008.09.17 |
| 申请号 | CN200710307264.1 | 申请日期 | 2007.12.28 |
| 申请人 | 通用电气公司 | 发明人 | R·W·克拉多克;P·K·金尼尔 |
| 分类号 | B81C1/00(2006.01);G01L9/00(2006.01) | 主分类号 | B81C1/00(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 曾祥夌;刘华联 |
| 主权项 | 1.一种制造压力传感器膜片的方法，所述方法包括：在第一基底的第一表面中蚀刻出一条或多条沟槽；使所述沟槽变得具有抗蚀刻性；以及在所述第一基底的相反的第二表面中蚀刻出空腔，从而限定由框架支撑的膜片，所述膜片具有一个或多个用来加强所述隔膜的中空凸台。 | ||
| 地址 | 美国纽约州 | ||