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发明名称
摘要
申请公布号	JP4149980(B2)	申请公布日期	2008.09.17
申请号	JP20040271639	申请日期	2004.09.17
申请人		发明人
分类号	H01L21/8234;H01L21/265;H01L21/8238;H01L27/088;H01L27/092	主分类号	H01L21/8234
代理机构		代理人
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