基板搬送装置

摘要

本发明提供一种基板搬送装置，接近地具有支撑基板、并沿着水平方向搬送的多个搬送臂，各个搬送臂，从平面观察，配置成在相对于处理单元或者基板收容盒搬入搬出基板时的搬送路径重合，各个搬送臂能够各自独立地沿着上下方向移动，而且，能够不相互干涉地沿着上下方向超越，根据本发明，在具有多个搬送臂的搬送装置中，能够提高各个搬送臂的自由度，提高基板的搬送效率。

主权项

1. 一种搬送基板的搬送装置，其特征在于：接近地设置有支撑并沿着水平方向搬送基板的多个搬送臂，其中，所述多个搬送臂，从所述水平方向的平面观察，配置成在相对于处理单元或者基板收容盒水平地搬入搬出基板时的搬送路径重合，所述多个搬送臂能够各自独立地沿着上下方向移动，而且，能够在搬送路径上的位置相互地沿着上下方向超越，所述搬送臂具有支撑基板的基板支撑部，沿着所述基板的搬送路径的前后方向移动该基板支撑部，相对处理单元或者基板收容盒搬入搬出基板，在一个搬送臂的基板支撑部向前方移动时，在该一个搬送臂的基板支撑部的后方侧，形成有另一个搬送臂能够沿着上下方向通过的空间。