基板的处理装置及运送装置调整系统

摘要

本发明的目的是比现有技术更迅速地进行基板处理装置的部件更换。本发明的处理装置是由多个构成部件构成、对基板进行规定处理的处理装置，对各构成部件分别附以识别标记，该处理装置具有：与识别标记对应地对在订购构成部件时所需要的各构成部件的部件信息进行存储的存储部；用于输入要订购的构成部件的识别标记的输入部；以及显示与输入的识别标记对应的、存储部中的部件信息的显示部。

主权项

1. 一种运送装置调整系统，它是对用于运送基板运送对象物的运送装置的运送目的地的停止位置进行调整的运送装置调整系统，其特征在于：上述运送装置被安装在基板处理装置中，在设置上述处理装置的工厂设置有：控制上述运送装置的停止位置的控制装置；以及检测上述运送装置的运送目的地的实际停止位置的检测装置，在上述处理装置的卖方设置有：经因特网取得由上述检测装置检测出的检测信息的取得装置；以及经因特网向上述处理装置提供根据上述已取得的检测信息推得的、用于对上述运送装置的停止位置进行修正的修正信息的提供装置。