Positive working radiation-sensitive composition with disulfone acid generators,申请号EP19920109980-传众专利搜索

发明名称	Positive working radiation-sensitive composition with disulfone acid generators
摘要
申请公布号	EP0520265(B1)	申请公布日期	1999.11.17
申请号	EP19920109980	申请日期	1992.06.13
申请人	BASF AKTIENGESELLSCHAFT	发明人	SCHWALM, REINHOLD, DR.;BINDER, HORST;FUNHOFF, DIRK, DR.;ROSER, JOACHIM, DR.;FUNHOFF, ANGELIKA, DR.
分类号	G03F7/004;G03F7/029;G03F7/033;G03F7/039;G03F7/38;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/039	主分类号	G03F7/004
代理机构		代理人
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