发明名称 LIGHT SENSITIVE COMPONENT FOR USE IN PHOTORESISTS
摘要
申请公布号 EP1969425(A1) 申请公布日期 2008.09.17
申请号 EP20060806695 申请日期 2006.11.06
申请人 AZ ELECTRONIC MATERIALS (GERMANY) GMBH 发明人 ZAHN, WOLFGANG;GROTTENMUELLER, RALF;WAGNER, DIETER
分类号 G03F7/023;C07C309/26;C07C309/76;G03F7/038 主分类号 G03F7/023
代理机构 代理人
主权项
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