发明名称 Apparatus for evaporation of materials for coating objects
摘要
申请公布号 EP1356496(B1) 申请公布日期 2008.09.17
申请号 EP20010271645 申请日期 2001.12.14
申请人 SHM, S.R.O. 发明人 HOLUBAR, PAVEL;JILEK, MOJMIR
分类号 H01J37/32;C23C14/35;H01J37/34 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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