发明名称 |
Apparatus for evaporation of materials for coating objects |
摘要 |
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申请公布号 |
EP1356496(B1) |
申请公布日期 |
2008.09.17 |
申请号 |
EP20010271645 |
申请日期 |
2001.12.14 |
申请人 |
SHM, S.R.O. |
发明人 |
HOLUBAR, PAVEL;JILEK, MOJMIR |
分类号 |
H01J37/32;C23C14/35;H01J37/34 |
主分类号 |
H01J37/32 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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