| 发明名称 | 一种CMP过程中晶圆下液体薄膜中间变量的测量方法 | ||
| 摘要 | 一种CMP过程中晶圆下液体薄膜中间变量的测量方法，包括以下步骤：(1)、在抛光液中加入荧光物质，并将抛光液输送到抛光机的抛光垫和晶圆之间，形成液体薄膜；(2)、开启激光器照射所述液体薄膜，所述液体薄膜受到激发后产生荧光；(3)、液体薄膜发出的荧光通过滤光片传送到摄像头进行荧光信息的采集；(4)、将摄像头采集的荧光图像进行图片处理，计算得到荧光强度，依照荧光强度与厚度的对应关系得到液体薄膜的厚度；依照荧光强度与温度的对应曲线得到液体薄膜的温度；依照荧光强度与pH值的对应曲线得到液体薄膜的pH值。本发明能够对CMP过程中晶圆下中间变量(如厚度、温度、pH值)进行有效测量。 | ||
| 申请公布号 | CN101266915A | 申请公布日期 | 2008.09.17 |
| 申请号 | CN200710164622.8 | 申请日期 | 2007.12.25 |
| 申请人 | 浙江工业大学 | 发明人 | 袁巨龙;楼飞燕;郑晓锋 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);B24B49/12(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 杭州天正专利事务所有限公司 | 代理人 | 王兵;王利强 |
| 主权项 | 1、一种CMP过程中晶圆下液体薄膜中间变量的测量方法，其特征在于：所述的测量方法包括以下步骤：(1)、在抛光液中加入荧光物质，并将抛光液输送到抛光机的抛光垫和晶圆之间，形成液体薄膜；(2)、开启激光器照射所述液体薄膜，所述液体薄膜受到激发后产生荧光；(3)、液体薄膜发出的荧光通过滤光片传送到摄像头进行荧光信息的采集；(4)、将摄像头采集的荧光图像进行图片处理，计算得到荧光强度，依照荧光强度与厚度的对应关系得到液体薄膜的厚度；依照荧光强度与温度的对应曲线得到液体薄膜的温度；依照荧光强度与pH值的对应曲线得到液体薄膜的pH值。 | ||
| 地址 | 310014浙江省杭州市下城区朝晖六区 | ||