热交换装置

摘要

本发明提供一种将残留颗粒成分微细化的热交换装置。本发明的热交换装置(8A)具有：纯水流通的螺旋状发热管(21)；使发热管的两端部彼此电气短路的短路部件(22)；包围发热管和短路部件而配置，并且根据高频电力使发热管产生电磁感应电力的加热线圈(23)，短路部件根据发热管的电磁感应电力而产生短路电流，根据短路电流来调节发热管的温度，发热管根据短路电流的温度调节作用对在该管内流通的纯水温度进行温度调节，以使纯水成为目标温度，其中，通过将纯水流通的发热管的流入口(21A)与地线部(25)接地而使发热管中流通的纯水的残留颗粒的带电电荷放电，将残留颗粒微细化。

主权项

1、一种热交换装置，具有：导电性材料的发热管，在其管内流通半导体或液晶的制造工序中使用的药液或药品气体；非磁性材料的短路部件，其使所述发热管的两端部彼此电气短路；加热线圈，其包围所述发热管和所述短路部件而配置，根据高频电力而使所述发热管产生电磁感应电力，所述短路部件根据所述发热管的电磁感应电力产生短路电流，根据该短路电流来调节所述发热管的温度，并且所述发热管根据所述短路电流的温度调节作用，对在所述发热管内流通的所述药液或药品气体进行温度调节，以使所述药液或药品气体的温度成为目标温度，其特征在于，通过将所述药液或药品气体流通的所述发热管的端部接地，将在所述发热管中流通的药液的残留颗粒成分或药品气体的聚集体的带电电荷放电，将所述残留颗粒成分或聚集体微细化。