| 发明名称 | 衬底清洁设备 | ||
| 摘要 | 一种衬底清洁设备包括：至少一个辊抛光单元，其可旋转地接触并按压衬底表面且具有清洁衬底表面的抛光辊；以及至少一个修整单元，其提供在辊抛光单元附近并处理抛光辊的表面。可普遍使用具有多种尺寸的衬底，且可高质量地清洁衬底表面。 | ||
| 申请公布号 | CN101264588A | 申请公布日期 | 2008.09.17 |
| 申请号 | CN200810082767.8 | 申请日期 | 2008.03.12 |
| 申请人 | SFA工程股份有限公司 | 发明人 | 尹荣淳;刘永敏 |
| 分类号 | B24B29/00(2006.01);H01L21/304(2006.01);B24B53/12(2006.01);B24B49/10(2006.01) | 主分类号 | B24B29/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 寿宁;张华辉 |
| 主权项 | 1、一种衬底清洁设备，其特征在于其包括：至少一个辊抛光单元，其可旋转地接触并按压衬底表面且具有清洁所述衬底表面的抛光辊；以及至少一个修整单元，其提供在所述辊抛光单元附近并处理所述抛光辊的表面。 | ||
| 地址 | 韩国忠清南道牙山市屯浦面新项里166番地 | ||