图形绘图装置、信息记录媒体的制造方法及母盘制造方法

摘要

本发明是为了降低信息记录媒体的制造成本。能够绘制构成形成信息记录媒体制造用的凹凸图形用的曝光图形P，束输出部能够输出其有效绘图宽度比各图形PS01、PS02…的宽度及长度要窄的电子束EB而构成，控制部通过交替多次进行部分绘图处理及绘图位置改变处理来绘制曝光图形P，该部分绘图处理是在利用基准信号生成部输出基准信号S1时，在仅待机预先规定的时间t1w、t1w…之后，使束输出部输出电子束EB，绘制图形PS01、PS02…的宽度方向的一部分(绘图区域PS011、PS012…)，该绘图位置改变处理是将利用部分绘图处理进行的一部分绘图位置，向基材的旋转中心侧在有效绘图宽度的范围内改变。

主权项

1. 一种图形绘图装置，其特征在于，包括能够放置在其表面形成为了形成信息记录媒体制造用的凹凸图形的树脂层的基材并使该基材旋转而构成的旋转机构、沿着利用该旋转机构形成的所述基材的旋转面使该旋转机构移动的移动机构、根据在所述旋转机构内部生成的内部信号及对该旋转机构的旋转驱动信号的某一个信号生成与所述基材的旋转同步的基准信号的基准信号生成部、向所述树脂层输出绘图用束的束输出部、以及控制所述旋转机构和所述移动机构同时控制利用所述束输出部的所述绘图用束的输出及输出停止时刻的控制部，能够在所述树脂层上绘制构成形成所述凹凸图形用的同心圆状曝光图形，所述曝光图形包含跟踪伺服用的伺服图形及数据记录用的数据道图形的至少一种图形，所述束输出部能够输出其有效绘图宽度比构成所述曝光图形的各图形的宽度及长度要窄的所述绘图用束而构成，所述控制部通过交替多次进行部分绘图处理及绘图位置改变处理，在所述树脂层上绘制所述曝光图形，所述部分绘图处理是在利用所述基准信号生成部输出所述基准信号时，在仅待机了预先规定的待机时间之后，控制所述束输出部，使所述绘图用束输出，在所述树脂层上绘制所述图形的宽度方向的一部分，所述绘图位置改变处理是将利用该部分绘图处理进行的所述一部分绘图位置，向接近利用所述旋转机构产生的所述基材旋转中心的方向及从该旋转中心离开的方向的某一个规定的方向一侧在所述有效绘图宽度的范围内改变，其中每次部分绘图处理，使所述待机时间对应于应当附加给所述至少一种图形的预先规定的斜角而变化。