发明名称 |
半导体器件及其制造方法 |
摘要 |
公开了一种半导体器件及其制造方法,半导体器件包括:布线板,其中形成有导孔;半导体元件,设置在布线板上;抗蚀剂层,覆盖布线板的表面,所述抗蚀剂层在位于所述导孔上的部分具有开口;以及密封树脂,覆盖所述开口中的所述导孔的表面以及所述抗蚀剂层,并密封所述半导体器件。本发明能够降低半导体器件的翘曲量,防止导孔上的密封树脂分离,并提高布线板与母板之间连接的可靠性。 |
申请公布号 |
CN101266962A |
申请公布日期 |
2008.09.17 |
申请号 |
CN200810083671.3 |
申请日期 |
2008.03.14 |
申请人 |
富士通株式会社 |
发明人 |
深泽则雄 |
分类号 |
H01L23/498(2006.01);H01L23/13(2006.01);H01L23/31(2006.01);H01L21/48(2006.01);H01L21/56(2006.01);H01L21/60(2006.01) |
主分类号 |
H01L23/498(2006.01) |
代理机构 |
隆天国际知识产权代理有限公司 |
代理人 |
张龙哺 |
主权项 |
1、一种半导体器件,包括:布线板,其中形成有导孔;半导体元件,设置在所述布线板上;抗蚀剂层,覆盖所述布线板的一个表面,所述抗蚀剂层在位于所述导孔上的部分具有开口;以及密封树脂,覆盖所述开口中的所述导孔的表面以及所述抗蚀剂层,并密封所述半导体器件。 |
地址 |
日本神奈川县川崎市 |