| 主权项 |
1.一种晶圆切割机之输送改良装置,主要包括有:一机体,其上侧设有一等待台、一工作载台、一清洗台及一切割装置;该等待台系用以暂时放置晶圆,而工作载台系用以载送晶圆,并可在机体上水平移动至切割装置处,该清洗台则供清洗切割后之晶圆;一昇降平台,系与等待台、工作载台、清洗台形成四边形排列,该昇降平台并可依晶圆顺序自动调整适当高度,俾供置放晶圆匣后,能依序取、放晶圆;一取料夹,系装置在该昇降平台前侧等待台上,并在其轨道上前、后移动,以自晶圆匣夹取出或放回晶圆;一旋转臂,装置在前述四边形之中心,系在一可昇降及回旋之轴杆上端装置一组支架,支架上则设有数吸盘;一辅助臂,系悬置在清洗台上方,并可前、后移动至工作载台,该辅助臂系具有一昇降杆,昇降杆下端固接一组支架,而支架上则设有数吸盘;藉由上述构件所组成之整体,将晶圆匣放在昇降平台上,当启动晶圆切割机后,可利用该旋转臂输送未切割之晶圆至工作载台,在切割晶圆同时,该取料夹又取出另一晶圆且置于等待台上,切割完成后,以辅助臂将切割后之晶圆自工作载台输送到清洗台,此时,该旋转臂又输送另一未切割之晶圆至工作载台,随后以该旋转臂将清洗乾净之晶圆输送到等待台,并以取料夹将晶圆放进晶圆匣内,再利用取料夹自晶圆匣中取出另一未切割之晶圆;如此循环运作,使该旋转臂只输送未切割及清洗乾净之晶圆,而辅助臂仅输送切割后未清洗之晶圆。图式简单说明:第一图系习用晶圆切割机之立体示意图。第二图系习用晶圆切割机之晶圆输送配置示意图。第三图系本创作一较佳实施例之立体示意图。第四图系本创作上述较佳实施例之晶圆输送配置示意图。第五图系本创作上述较佳实施例中旋转臂与辅助臂之侧视示意图。 |
