| 发明名称 |
Electron beam source, electron-optical apparatus comprising an electron beam source and method of operating an electron beam source |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1403898(A3) |
申请公布日期 |
2008.09.17 |
| 申请号 |
EP20030021570 |
申请日期 |
2003.09.24 |
| 申请人 |
CARL ZEISS NTS GMBH |
发明人 |
STEIGERWALD, MICHAEL, DR. |
| 分类号 |
H01J1/34;H01J3/02;H01J37/06;H01J37/073;H01J37/075;H01J37/28;H01L21/027 |
主分类号 |
H01J1/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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