| 发明名称 | 蒸发坩埚和具有合适的蒸发特性的蒸发设备 | ||
| 摘要 | 本发明描述了一种蒸发坩锅。所述蒸发坩锅(100；300；400；500)包括：导电主体(120)和盖(150；500)；所述主体具有用于施加通过所述主体的加热电流的第一电连接(162)和第二电连接(164)，所述主体包括提供熔融蒸发区域的腔(130)，所述腔包括腔底和腔壁，其中所述盖与所述腔形成封闭空间；进料开口(134；430)，用于进料材料；以及分配孔(170；571；572)，提供所述封闭空间的蒸汽出口。 | ||
| 申请公布号 | CN101265567A | 申请公布日期 | 2008.09.17 |
| 申请号 | CN200810006547.7 | 申请日期 | 2008.03.06 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 霍尔格·澳尔巴赫;海尔马特·格瑞姆 |
| 分类号 | C23C14/26(2006.01) | 主分类号 | C23C14/26(2006.01) |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 赵飞 |
| 主权项 | 1.一种蒸发坩锅(100；300；400；500)，包括：导电主体(120)和盖(150；500)；所述主体具有用于施加通过所述主体的加热电流的第一电连接(162)和第二电连接(164)，所述主体包括提供熔融蒸发区域的腔(130)，所述腔包括腔底和腔壁，其中所述盖与所述腔形成封闭空间；进料开口(134；430)，用于进料材料；以及分配孔(170；571；572)，提供所述封闭空间的蒸汽出口。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||