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发明名称
摘要
申请公布号	JP4149793(B2)	申请公布日期	2008.09.17
申请号	JP20020365378	申请日期	2002.12.17
申请人		发明人
分类号	H01L21/312;H01L21/336;H01L29/786;H01L51/00;H01L51/05;H01L51/30	主分类号	H01L21/312
代理机构		代理人
主权项
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