平面度检测装置及方法

摘要

本发明公开一种平面度检测装置，其包括一个光发射单元、一个光接收单元、一个载物台、一个遮光单元及一个处理单元。其中该光接收单元与该光发射单元相对设置。该载物台位于该光发射单元与该光接收单元之间，其用于承载待测工件。该遮光单元也位于该光发射单元与该光接收单元之间，其用于检测时在待测工件的待测表面的最高点及最低点的高度之间与该待测表面相配合形成透光间隙。该处理单元与该光接收单元相连，其用于处理该光接收单元接收到的光信息。本发明还公开一种平面度检测方法。上述平面度检测装置及方法具有准确度较高且易于避免与被测工件相碰撞的优点。

主权项

1. 一种平面度检测装置，其特征在于：该平面度检测装置包括一个光发射单元、一个光接收单元、一个载物台、一个遮光单元及一个处理单元；其中该光接收单元与该光发射单元相对设置；该载物台位于该光发射单元与该光接收单元之间，其用于承载待测工件；该遮光单元也位于该光发射单元与该光接收单元之间，其用于检测时在待测工件的待测表面的最高点及最低点的高度之间与该待测表面相配合形成透光间隙；该处理单元与该光接收单元相连，其用于处理该光接收单元接收到的光信息。