发明名称 用于微机械式环形谐振器的温度补偿装置
摘要 本发明提供一时基,其包括一个谐振器(4)和一个用于驱动该谐振器(4)发生振荡以便随此振荡产生具有确定频率的信号的集成电子电路,所述谐振器是一集成微机械式环形谐振器(4),该环形谐振器(4)支承在一衬底(2)的上方,并且适宜于绕着与所述衬底基本上垂直的旋转轴(0)发生振荡,所述环形谐振器(4)包括:一立柱(5),其从所述衬底(2)沿所述旋转轴(0)伸出;一独立式振荡构件(6),其连接到所述立柱(5),且包括与所述旋转轴(0)共轴且通过多个弹性元件(62)连接到所述立柱(5)上的一外环(60);和设置在所述外环(60)周围且与所述集成电子电路(3)连接的电极构件(9,9<SUP>*</SUP>),所述时基的特征在于,所述独立式振荡构件(6)还包括多个温度补偿构件(65),所述温度补偿构件(65)适宜于改变作为温度的函数的所述独立式振荡构件(6)的质量惯性矩,从而补偿温度对所述环形谐振器(4)的谐振频率的影响。
申请公布号 CN100420148C 申请公布日期 2008.09.17
申请号 CN200410032444.X 申请日期 2000.11.01
申请人 伊塔瑞士钟表制造股份有限公司 发明人 M·吉奥索夫;H·屈克;R·普拉茨
分类号 H03B5/30(2006.01) 主分类号 H03B5/30(2006.01)
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 章社杲
主权项 1. 一时基,其包括一个谐振器(4)和一个用于驱动该谐振器(4)发生振荡以便随此振荡产生具有确定频率的信号的集成电子电路,所述谐振器是一集成微机械式环形谐振器(4),该环形谐振器(4)支承在一衬底(2)的上方,并且适宜于绕着与所述衬底垂直的旋转轴(0)发生振荡,所述环形谐振器(4)包括:一中央立柱(5),其从所述衬底(2)沿所述旋转轴(0)伸出;一独立式振荡构件(6),其连接到所述中央立柱(5),且包括与所述旋转轴(0)共轴且通过多个弹性元件(62)连接到所述中央立柱(5)上的一外环(60);和设置在所述外环(60)周围且与所述集成电子电路(3)连接的电极构件(9,9*),所述时基的特征在于,所述独立式振荡构件(6)还包括固定到所述外环(60)的内侧或者外侧上的多个温度补偿构件(65),所述温度补偿构件(65)适宜于改变作为温度的函数的所述独立式振荡构件(6)的质量惯性矩,从而补偿温度对所述环形谐振器(4)的谐振频率的影响。
地址 瑞士格伦兴