具有用于谐波抑制的倾斜光探测器元件的光学编码器

摘要

一种光学编码器包括：光束源；产生干涉条纹的空间图案的光栅；以及光学探测器，包括：通常伸长的探测器元件，其沿光栅的运动方向，在空间分离的位置处对干涉条纹图案进行采样。每个探测器元件具有一个或多个段，其沿光栅的运动方向倾斜条形图案的不期望谐波分量的周期的整数倍，从而对谐波分量进行空间积分，并且抑制其对探测器的输出的贡献。一种具体的探测器类型包括围绕Z轴略微旋转的成矩形阵列的平行伸长矩形元件；另一类型包括布置以形成非矩形的平行四边形的探测器元件。另一种类型的探测器包括探测器元件，每个具有可布置成两个不平行组的多个伸长矩形段。两个组还能够以交替的方式布置，以便将之字型或人字型形状传递给每个探测器元件。

主权项

1.一种光学编码器，包括：光束源；设置用于相对于光束运动的光栅，所述光栅结合所述光束操作，以在探测器位置处产生干涉条纹的空间图案，所述干涉条纹图案包括不期望的谐波分量；以及在探测器位置处的光探测器，所述光探测器包括多个伸长的探测器元件，操作探测器元件以便沿所述光栅的相对运动方向在空间上隔开的位置处对干涉条纹图案进行采样，每个探测器元件包括一个或更多个段，每个段在干涉条纹图案上倾斜不期望的谐波分量的周期的整数倍，以便按照实质抑制所述谐波分量对光探测器的位置相关输出的贡献的方式，对不期望的谐波分量进行空间积分。