发明名称 电子基板的制造方法、及电光装置的制造方法
摘要 一种电子基板的制造方法,其中,准备基板和掩模,在基板上形成配线图案,在所述掩模的规定区域形成开口部,将形成有所述开口部的所述掩模粘贴于所述基板,经由所述掩模的所述开口部,除去形成于所述基板上的所述配线图案的至少一部分,由此在所述基板上形成电子元件。
申请公布号 CN100419997C 申请公布日期 2008.09.17
申请号 CN200610106390.6 申请日期 2006.07.14
申请人 精工爱普生株式会社 发明人 桥元伸晃
分类号 H01L21/82(2006.01);H01L21/768(2006.01);H01L21/48(2006.01) 主分类号 H01L21/82(2006.01)
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 李贵亮
主权项 1. 一种电子基板的制造方法,其中,准备基板和掩模,在基板上形成配线图案,在所述掩模的规定区域形成开口部,将形成有所述开口部的所述掩模粘贴于所述基板,经由所述掩模的所述开口部,除去所述配线图案的至少一部分,由此形成电阻元件。
地址 日本东京