微区块涂布装置及其方法

摘要

本发明一种微区块涂布装置及其方法，是在一涂布模块内部形成有一微信道结构，且该微信道结构中包括有至少一主要流体入口、至少一次要流体入口、至少一微二相流产生器，连通于该微信道结构的主要流体入口及该次要流体入口，以分别导入主要流体及次要流体，并将该主要流体与次要流体相互截断形成一微二相流。该微二相流产生器所产生的微二相流经由一微二相流输出区段导引后，再由该微二相流输出区段的导出端导出于该涂布模块。通过由该涂布模块与待涂布基板两者平行相对移动下，使该涂布模块导出的微二相流涂布于该待涂布基板上的预定位置而形成微区块。

主权项

1. 一种微区块涂布装置，用以在一待涂布基板上涂布微区块，其特征在于该微区块涂布装置包括：一涂布模块；一微信道结构，形成在该涂布模块内部；至少一主要流体入口，连通于该涂布模块中的微信道结构，用以提供一主要流体至该微信道结构中；至少一次要流体入口，连通于该涂布模块中的微信道结构，用以提供一次要流体至该微信道结构中；至少一微二相流产生器，连通于该微信道结构的主要流体入口及该次要流体入口，以分别导入该主要流体及次要流体，并将该主要流体与次要流体相互截断形成一微二相流；至少一微二相流输出区段，具有一微二相流导入端及一微二相流体输出端，其中该微二相流导入端是连通于该微二相流产生器，用以导入该微二相流产生器所产生的微二相流，而该微二相流体输出端是形成在该涂布模块的底缘，且与待涂布基板的表面保持一预定距离，用以将该微二相流导出该涂布模块；其中该微二相流导出于该涂布模块的后，通过由该涂布模块与待涂布基板两者平行相对移动下，使该微二相流涂布于该待涂布基板上的预定位置而形成微区块。