发明名称 SMIF开启机之位置调整转接器及位置调整方法
摘要 提供一种SMIF开启机之位置调整转接器及位置调整方法,系能将SMIF开启机于处理装置之安装位置,容易在前后方向进行调整。将SMIF开启机安装于处理装置时,能将SMIF开启机之安装位置在前后方向调整之位置调整转接器100,系以SMIF开启机1之载入埠2为边界,由上侧调整部200与下侧调整部300所构成。上侧调整部200,系由介于SMIF开启机侧之开闭器5与处理装置之开口部之间,且能固定于SMIF开启机侧,并于前后方向伸缩调整自如之第1组装构造体所构成,下侧调整部300,系由介于SMIF开启机1下方与处理装置之开口下方之间,且能固定于SMIF开启机侧及处理装置侧之两侧,并于前后方向伸缩调整自如之第2组装构造体所构成。
申请公布号 TW200837868 申请公布日期 2008.09.16
申请号 TW096112833 申请日期 2007.04.12
申请人 平田机工股份有限公司 发明人 中村博史;松田清二
分类号 H01L21/68(2006.01) 主分类号 H01L21/68(2006.01)
代理机构 代理人 桂齐恒;阎启泰
主权项
地址 日本