离子植入机系统中晶圆保持机器人端部处理器垂直位置的决定

摘要

本发明揭露一种晶圆搬运机器人、包括晶圆搬运机器人之离子植入机系统以及相关方法。离子植入机系统可包括：离子植入站，其包括耦接至其之承载室；晶圆搬运机器人，其至少部分地位于承载室内，所述晶圆搬运机器人包括用于搬运至少一晶圆之端部处理器以及用于使端部处理器垂直地移动之马达；以及感测器，其定位于承载室内以决定端部处理器之垂直位置。