电容器的制作方法

摘要

一种电容器的制作方法，此方法是先提供基底。然后，于基底上依序形成经掺杂的第一介电层以及未经掺杂的第二介电层。之后，于第一介电层以及第二介电层中形成多个沟渠。接着，对相邻两沟渠之间的最大间隔处进行离子植入制程，以于沟渠之上部的部分第二介电层中形成植入区域。然后，进行湿式蚀刻制程，以移除位于植入区域的部分第二介电层以及位于沟渠底部的部分第一介电层。接着，于沟渠表面依序形成第一导体层以及电容介电层。之后，于沟渠中形成第二导体层。