| 摘要 |
本发明系基于在电浆增强式气相沉积期间降低加热基板之目的。为此，提供用于藉由电浆增强式气相沉积涂覆基板的一方法及一装置，其中一待涂覆基板之该基板表面的周围之至少一部分系经排空并容许供涂覆作业所用的具有一开始物质的一加工气体进入，其中该涂层系藉由一电浆而沉积，该电浆系在填注加工气体的基板表面之周围中辐射电磁能而经激发。以一复数之脉冲序列的形式辐射电磁能，较佳地为微波或射频脉冲，该脉冲序列具有首先间歇而于时间上隔开的复数之脉冲，其中于该等间歇中关断辐射的电磁能，以及介于脉冲序列之间的该等间歇系至少较一脉冲序列范围内脉冲之间的该首先间歇长3倍，较佳地至少长5倍。 |
