基板位置侦测方法、基板处理方法以及基板处理装置

摘要

藉由量测一支撑板之温度来侦测置放于支撑板上之基板的位置。在将基板置放于支撑板上之后，量测基板之温度且将其与参考温度进行比较。若经量测之温度在参考温度范围内，则判定该基板置放于支撑板上之位置中。另一方面，若经量测之温度在参考温度范围外，则判定该基板在支撑板上之位置范围外。当基板置放于支撑板上之位置范围外时，产生警报或暂时中止基板之处理。