薄膜电晶体

摘要

一种薄膜电晶体，其包括一基板、一闸极、一闸绝缘层、一半导体层、一欧姆接触层以及一源极与一汲极。其中，闸极配置于基板上，而闸绝缘层配置于基板上，并覆盖闸极。半导体层配置于闸绝缘层上，且位于闸极上方。半导体层包括一未掺杂非晶矽层与一第一未掺杂微晶矽层，其中第一未掺杂微晶矽层则配置于未掺杂非晶矽层上。另外，欧姆接触层配置于部分半导体层上，而源极与汲极则配置于欧姆接触层上。因此，此薄膜电晶体具有较佳的品质控制及电性特性。