探针台以及使用该探针台测试晶圆的方法

摘要

在此揭示者系用于测试一晶圆上所形成之半导体装置的探针台。该设备包括一卡盘、一探针卡夹具、一夹具固定单元、一转移单元、及一夹具移动单元。该卡盘支撑该晶圆。组构该探针卡夹具，使得一设有复数探针之探针卡被安置在其中。该夹具固定单元系紧该探针卡夹具。藉由自该探针台至该外侧横侧地移动该探针卡夹具、及横侧地移动该探针卡夹具，该转移单元能够让探针卡夹具中之探针卡安置进入该探针台。该夹具移动单元造成该探针卡夹具将藉由改变探针卡夹具之位置被系紧至该夹具固定单元，同时支撑该夹具固定单元。