摘要 |
一种用于决定一载体上之结构相对于该载体之参考点的位置之方法,该方法包含以下步骤:a)提供一个包括参考结构的影像;b)藉由一个记录装置,以相对于诸参考点的一个已知的记录位置,记录载体上之结构之影像;c)叠置两个影像,以形成一个叠置影像;d)决定该叠置影像中的两个结构之影像距离;e)视所决定的影像距离之不同,使该叠置影像中的两个结构相对于彼此而移位;f)检查所决定的影像距离是否低于一个预定的最大值;其中,若影像距离低于该最大值,则该方法于步骤g)中继续,且,若影像距离不低于该最大值,则重复步骤d)至f),在其中考量该或该等所决定的影像距离;g)基于步骤b)中之记录位置、及步骤d)中所决定的该或该等影像距离,决定该结构相对于参考点之位置。 |