发明名称 用于决定一载体上之结构相对于该载体之参考点的位置之方法及装置
摘要 一种用于决定一载体上之结构相对于该载体之参考点的位置之方法,该方法包含以下步骤:a)提供一个包括参考结构的影像;b)藉由一个记录装置,以相对于诸参考点的一个已知的记录位置,记录载体上之结构之影像;c)叠置两个影像,以形成一个叠置影像;d)决定该叠置影像中的两个结构之影像距离;e)视所决定的影像距离之不同,使该叠置影像中的两个结构相对于彼此而移位;f)检查所决定的影像距离是否低于一个预定的最大值;其中,若影像距离低于该最大值,则该方法于步骤g)中继续,且,若影像距离不低于该最大值,则重复步骤d)至f),在其中考量该或该等所决定的影像距离;g)基于步骤b)中之记录位置、及步骤d)中所决定的该或该等影像距离,决定该结构相对于参考点之位置。
申请公布号 TW200837506 申请公布日期 2008.09.16
申请号 TW096145869 申请日期 2007.12.03
申请人 卡尔蔡斯半导体度量系统公司 发明人 麦克 亚茨;葛德 克劳斯;麦克 托赛克
分类号 G03F7/20(2006.01) 主分类号 G03F7/20(2006.01)
代理机构 代理人 赖经臣;宿希成
主权项
地址 德国