| 摘要 |
[课题]提供一种搬运装置，在搬运基板的搬运工程中，可容易地在有高度差异的基板处理装置及搬运装置之间移载，同时移载后的基板在下一工程中以适当姿势整合。[解决手段]本发明的搬运装置1包括复数个滚子；滚子输送部10，具备上述滚子并具有以既定间隔并列设置的复数根轨道部，其水平搬运矩形基板N；铅直移动机构3，使上述滚子输送部10于铅直方向移动；以及一对整合部30，配置于上述基板N相向的端部侧，在上述滚子运输部10上，藉由推动上述基板N的端部而整合上述基板N的姿势，其中上述铅直移动机构3系配置于上述滚子输送部10的一端侧，而上述滚子输送部10的另一端侧为自由端。 |
