玻璃基板之开孔方法及开孔装置

摘要

本发明提供一种玻璃基板之开孔方法及开孔装置，其系在玻璃基板上以高的位置精度及尺寸精度形成多数之微细深孔。将玻璃基板收纳于容器内。在玻璃基板上设置具有复数孔之多孔导引板，在该等孔内插入开孔销。加热容器，软化容器内之玻璃基板。使推压构件下降，将开孔销插入玻璃基板内。其后，冷却容器，在插入开孔销之状态下固化玻璃基板。自容器取出玻璃基板，藉由王水溶解开孔销，在玻璃基板上形成孔。