液晶显示面板之半导体结构及其制作方法

摘要

一种液晶显示面板之半导体结构之制作方法包含下列步骤。首先提供一基板，并在其上形成一图案化多晶矽层，然后覆盖第一介电层。接着形成一图案化之第一金属层，以构成闸极与电容电极。离子掺杂多晶矽层以形成源极与汲极。接着，形成第二介电层与图案化第二金属层，并利用第三介电层覆盖于其上。然后，再利用图案化光阻层，形成复数个介层开口，并将第三金属层填入于其中。将光阻层与多余之第三金属层剥除，以形成介层插塞于介层开口之中，并利用图案化之透明导电层，以电性介层插塞。