| 摘要 |
本发明提供一种基板处理装置及方法，其可从基板之表面周缘部将附着于喷嘴插入孔之处理液之液滴从该喷嘴插入孔排出，而不会受到该液滴所产生之不良影响，而可良好地处理基板之表面周缘部。开口部521之中相对于插入喷嘴插入孔52之喷嘴3位于液喷出方向X侧之部位531扩张于液喷出方向X侧。因此，移动至喷嘴插入孔52之液滴DL经由扩张部位531而相对于喷嘴3附着于液喷出方向X侧之内壁面，亦即倾斜部位532。而且，由于该倾斜部位532设成一面从喷嘴插入孔52之部朝向扩张部位531倾斜，一面从基板W之表面部侧远离，因此所附着之液滴DL会沿着倾斜部位532而流到液喷出方向X侧，从喷嘴插入孔52之开口部521排出。 |
