探针单元及检查装置

摘要

本发明之课题在于可确实地防止导引薄膜产生剥离。本发明之解决手段为使用于检查对象板的检查之探针单元及检查装置。系具备：电性接触于上述检查对象板之电路的电极并施加检查讯号之探针组装体；及将该探针组装体及外部装置予以电性连接之连接排线部；将上述探针组装体之基端部的针部所接触之FPC排线的端子予以覆盖而设置导引薄膜；该导引薄膜系具备：与上述FPC排线的端子为相同数目且分别设置于与各端子整合一致的位置之导孔；及设置于配合FPC板的前端侧缘部的角部之位置之弯折部。