涂布与显影处理系统

摘要

一种涂布与显影处理装置包括一个夹盘，用以固定一基底，至少一个处理溶液的喷洒喷嘴，用以将涂布与显影溶液传出送到安装在夹盘的基底上，一个清洗溶液喷洒喷嘴，用以将清洗溶液传出送到基底上，一个传动装置，用以选择喷嘴并将选定的喷嘴移到基底上方，以及一个控制器，以控制此传动装置，一个传动装置可以驱动不同的喷洒喷嘴，藉以节省系统的空间与制作成本。

主权项

2.如申请专利范围第1项所述之系统,进一步包括:一处理溶液喷洒喷嘴埠,其中至少安装有一处理溶液喷洒喷嘴;以及一传动器,用以将该处理溶液喷洒喷嘴送到传动装置的驱动范围内。图式简单说明:第1图绘示为根据本发明一较佳实施例的一种涂布与显影处理系统之透视图;第2图绘示为根据本发明一较佳实施例,说明涂布与显影处理系统中操作关系的示意图;以及第3图绘示为根据本发明另一较佳实施例,说明涂布与显影处理系统中操作关系的示意图。