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发明名称 Chuck for holding a device under test
摘要 A chuck for a probe station.
申请公布号 US7423419(B2) 申请公布日期 2008.09.09
申请号 US20070975929 申请日期 2007.10.23
申请人 发明人
分类号 G01R31/02 主分类号 G01R31/02
代理机构 代理人
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