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<p>Im Betrieb eines Grob- und Feinbewegungsmechanismus 1 von einem linearen Antriebstyp wird ein Feinbewegungsmechanismus 3, auf dem ein zu positionierendes Werkstück 8 befestigt ist, durch einen Grobbewegungsmechanismus 2 mit einer hohen Geschwindigkeit zu einem Zielpunkt transferiert und grob um den Zielpunkt herum positioniert. Daraufhin wird das Werkstück 8 durch den Feinbewegungsmechanismus 3 in einem engen Hubbereich transferiert und genau an dem Zielpunkt positioniert. Das Werkstück 8 wird durch den Grobbewegungsmechanismus 2 in einem Zustand, in dem der Feinbewegungsmechanismus 3 durch den Bremsmechanismus 9 mechanisch mit dem Grobbewegungsmechanismus 2 verbunden ist, mit einer hohen Beschleunigung tranferiert. Als ein Ergebnis wirkt, wenn der Grobbewegungsmechanismus 2 bewegt wird, keine Last auf den Feinbewegungsmechanismus 3 oder solch eine Last kann verringert werden. Folglich kann ein Grob- und Feinbewegungsmechanismus 1 realisiert werden, der beständig sowohl eine Hochgeschwindigkeitspositionierung durch einen Grobbewegungsmechanismus 2 als auch eine Positionierung mit hoher Genauigkeit durch den Feinbewegungsmechanismus 3 ermöglicht.</p> |
