VORRICHTUNG ZUR ANREGUNG EINES GASES DURCH OBERFLÄCHENWELLENPLASMA,申请号DE19986039773-传众专利搜索

发明名称	VORRICHTUNG ZUR ANREGUNG EINES GASES DURCH OBERFLÄCHENWELLENPLASMA
摘要
申请公布号	DE69839773(D1)	申请公布日期	2008.09.04
申请号	DE19986039773	申请日期	1998.07.07
申请人	L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE	发明人	MOISAN, MICHEL;ZAKRZEWSKI, ZENON;ETEMADI, ROXANE;ROSTAING, JEAN-CHRISTOPHE
分类号	H01J27/16;H05H1/46;H01J37/32;H05H1/24	主分类号	H01J27/16
代理机构		代理人
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