发明名称 FORMULATION OF A SILICON GERMANIUM-ON-INSULATOR STRUCTURE BY OXIDATION OF A BURIED POROUS SILICON LAYER
摘要
申请公布号 KR100856988(B1) 申请公布日期 2008.09.04
申请号 KR20067003316 申请日期 2006.02.17
申请人 发明人
分类号 H01L27/12;C22F1/10;H01L21/20;H01L21/762 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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