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发明名称
Wafer-Transporteinrichtung, Prozesskammer diese enthaltend, Halbleiter-Wafer-Prozessierungssystem und Verfahren zum Prozessieren eines Halbleiter-Wafers
摘要
申请公布号
DE102006025843(B4)
申请公布日期
2008.09.04
申请号
DE200610025843
申请日期
2006.06.02
申请人
WAFERMASTERS INC.
发明人
YOO, WOO SIK
分类号
H01L21/324;H01L21/67;H01L21/677
主分类号
H01L21/324
代理机构
代理人
主权项
地址
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