发明名称 Wafer-Transporteinrichtung, Prozesskammer diese enthaltend, Halbleiter-Wafer-Prozessierungssystem und Verfahren zum Prozessieren eines Halbleiter-Wafers
摘要
申请公布号 DE102006025843(B4) 申请公布日期 2008.09.04
申请号 DE200610025843 申请日期 2006.06.02
申请人 WAFERMASTERS INC. 发明人 YOO, WOO SIK
分类号 H01L21/324;H01L21/67;H01L21/677 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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